| 摘要 |
本发明的目的在于提供不需使用复杂且大型的设备，介电常数高、可任意调控膜厚度且具有高耐电压的复合氧化物膜以及其制造方法，含有该复合氧化物膜之复合体及其制造方法，含有该复合氧化物膜或复合体之介电材料或压电材料，含有于高耐电压化有利之复合氧化物膜之电容器或压电元件，以及具备该等之电子机器。;以阳极氧化等手段于基体表面形成含钛元素之金属氧化物膜，其次使含有锶离子的溶液于该金属氧化物膜上反应，可制得含有钛元素及锶元素之复合氧化物膜。再者，可制得含有以具有该复合氧化物膜之复合体作为介电材料之电容器，或含有以具有该复合氧化物膜之复合体作为压电材料之压电元件。 |
