| 摘要 |
本发明提供一种用于沈积一有机薄膜之装置及方法。该装置包括：一腔室；一基板底座单元，其安置于该腔室内部；一喷洒单元，其用于蒸发及喷洒一原始有机材料及一原始掺杂剂材料；及一沈积源供应模组，其经组态以用于向该喷洒单元供应该原始有机材料及该原始掺杂剂材料。可藉由控制被供应至一腔室中之粉末形式之一原始有机材料及一原始掺杂剂材料的量来制造一具有目标掺杂浓度之有机薄膜。而且，使被供应至一腔室中之该原始有机材料及该原始掺杂剂材料的该等量维持恒定，同时执行复数个制程，使得可改良含有掺杂剂之该有机薄膜的再现性。 |
