调节传送构件的速度的方法、使用该方法传送基板的方法以及基板处理设备

摘要

一种调节传送构件中的传送臂的速度的方法。所述方法包括：使传送臂从起点向移动速度达到预设基准速度的第一点加速；将从第一点至第二点的段划分为多个移动段，使传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和匀速运动中的任一种运动移动；以及，使传送臂从第二点向目标点减速。传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。由此，施加与先前移动段中的脉冲不同的脉冲到加载在传送臂上的基板。因此，脉冲响应叠加消除了基板的残留振动，从而改进了传送构件的传送效率。

主权项

一种调节传送构件的移动速度的方法，所述传送构件具有多个加载有基板的传送臂，各个传送臂朝向地面，所述方法包括：使所述传送臂从所述传送臂开始上下移动的起点向所述移动速度达到预设基准速度的第一点加速；使以所述基准速度移动的传送臂从第二点向目标点逐渐减速；和将从所述第一点至所述第二点的段划分为N个移动段，其中，N是至少为2的自然数，以使所述传送臂根据各个移动段而以减速运动、加速运动和匀速运动中的任一种运动移动，其中，所述传送臂在当前移动段中的运动不同于紧接当前移动段之前的移动段中的运动。