| 发明名称 | 晶圆背面清洗装置及清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种结构简单、清洗效率和可靠性都很高的晶圆背面清洗装置，包括：一晶圆卡盘，承载一晶圆；一喷头，具有一通孔、若干喷嘴及一气体通道，所述喷嘴向夹持在所述晶圆卡盘上的晶圆背面喷射清洗液，所述气体通道与所述通孔相连通以向所述通孔内通入保护气；一支架，具有一支杆，所述支杆收容于所述喷头的通孔内，所述支杆上设置有若干支撑臂，用于装载和卸载所述晶圆；及一驱动装置，驱动所述支杆上下移动。本发明还公开一种使用该晶圆背面清洗装置清洗晶圆背面的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103506339A | 申请公布日期 | 2014.01.15 |
| 申请号 | CN201210220445.1 | 申请日期 | 2012.06.28 |
| 申请人 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 发明人 | 王坚;赵宇;吴均;陈福发;王晖 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆勍 |
| 主权项 | 一种晶圆背面清洗装置，包括：一晶圆卡盘，承载一晶圆；一喷头，具有一通孔、若干喷嘴及一气体通道，所述喷嘴向夹持在所述晶圆卡盘上的晶圆背面喷射清洗液，所述气体通道与所述通孔相连通以向所述通孔内通入保护气；一支架，具有一支杆，所述支杆收容于所述喷头的通孔内，所述支杆上设置有若干支撑臂，用于装载和卸载所述晶圆；及一驱动装置，驱动所述支杆上下移动。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区中国上海张江高科技园区蔡伦路1690号4幢 | ||