发明名称 超声波探测器及超声波检查装置
摘要 本发明提供超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括:基板,设置有多个腔体;隔膜,设置于上述腔体上;薄膜压电元件,设置于上述隔膜上;连通路径,使上述多个腔体连通;以及空气孔,使上述连通路径与外部空气连通。
申请公布号 CN103512649A 申请公布日期 2014.01.15
申请号 CN201310234153.8 申请日期 2013.06.13
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 中村友亮;细见浩昭
分类号 G01H11/08(2006.01)I 主分类号 G01H11/08(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种超声波探测器,其特征在于,包括:基板,设置有多个腔体;隔膜,设置于所述腔体上;薄膜压电元件,设置于所述隔膜上;连通路径,使所述多个腔体连通;以及空气孔,使所述连通路径与外部空气连通。
地址 日本东京