发明名称 | 超声波探测器及超声波检查装置 | ||
摘要 | 本发明提供超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括:基板,设置有多个腔体;隔膜,设置于上述腔体上;薄膜压电元件,设置于上述隔膜上;连通路径,使上述多个腔体连通;以及空气孔,使上述连通路径与外部空气连通。 | ||
申请公布号 | CN103512649A | 申请公布日期 | 2014.01.15 |
申请号 | CN201310234153.8 | 申请日期 | 2013.06.13 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 中村友亮;细见浩昭 |
分类号 | G01H11/08(2006.01)I | 主分类号 | G01H11/08(2006.01)I |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 余刚;吴孟秋 |
主权项 | 一种超声波探测器,其特征在于,包括:基板,设置有多个腔体;隔膜,设置于所述腔体上;薄膜压电元件,设置于所述隔膜上;连通路径,使所述多个腔体连通;以及空气孔,使所述连通路径与外部空气连通。 | ||
地址 | 日本东京 |