组装结构

摘要

本发明关于一种组装结构，包括基板、晶圆片及上盖。基板具有承载面，承载面具有晶圆片承载区与沟槽，且沟槽围绕晶圆片承载区。晶圆片设置于晶圆片承载区内，上盖则是盖设于基板上而将晶圆片封于上盖与基板之间。相较现有技术，本发明的组装结构的基板的沟槽环绕在晶圆片承载区周围，有效地隔绝施加于基板表面上的应力，免除此应力对晶圆片承载区中的晶圆片的冲击，因而确保晶圆片可正常运作。

主权项

一种组装结构，其特征在于：该组装结构包括一基板、一晶圆片和一上盖；该基板具有一承载面以及一底面，该承载面具有一晶圆片承载区以及一沟槽，其中该沟槽围绕该晶圆片承载区；该晶圆片设置于该晶圆片承载区内；该上盖盖设于该基板上而将该晶圆片封于该上盖与该基板之间。