微观几何形貌量测系统

摘要

一种微观几何形貌量测系统，用以量测试片的微观几何形貌。本创作之微观几何形貌量测系统包含第一扫描装置、第二扫描装置以及平坦基板。第一扫描装置的第一探针接触试片。第二扫描装置的第二探针接触平坦基板。第二扫描装置或平坦基板与第一扫描装置被同步致动，致使第一探针在试片上移动，第二探针在平坦基板上移动。试片的微观几何形貌系根据第一扫描装置之第一可枢转臂的第一位移以及第二扫描装置之第二可枢转臂的第二位移计算而得。