发明名称 |
用于裸露模板试验和腐蚀的临时密封装置 |
摘要 |
一种临时的密封装置可以有效地用于对裸露模板的试验和腐蚀以及一种可配装在集成电路板上安装的插座上密封装置可有效地用于模板试验和腐蚀。所述密封装置包括一底座,该底座具有与模板啮合的触点,并提供与外周边接触的触点,一用于将模板压入电触点的盖组件以及一限制模板免于受到由于对密封装置的侧面或顶面的外部压力引起的损坏的保护盖。所述模板、盖组件和保护盖可以装配在所述底座上并可由自动设备移开。 |
申请公布号 |
CN1117654A |
申请公布日期 |
1996.02.28 |
申请号 |
CN95107293.5 |
申请日期 |
1995.07.19 |
申请人 |
美国3M公司 |
发明人 |
卡罗尔·林恩·凯厄莱依·凯必尼斯;戴维·斯科特·哈德卡斯尔 |
分类号 |
H01L23/10 |
主分类号 |
H01L23/10 |
代理机构 |
上海专利商标事务所 |
代理人 |
任永武 |
主权项 |
1.一种用于裸露模板的临时密封装置,它包括:一基本呈矩形形状的底座,它带有一上表面和一底面及四个侧面,所述底座至少在所述两个侧面上设有凹座,以及具有用于将一模板定位在所述上表面上的装置;多个具有适合于配装在所述凹座上的伸长形状的接触片,用于临时地将所述接触片固定在所述凹座内的装置,每个接触片具有多个触点件,所述触点在接触片的一端上形成以实现与所述模板的电接触并与所述接触片相关联的且与所述一端的一相对端有横向设置的第二端以提供沿着底座一侧的电接触;以及一由所述底座支承的用于将模板朝向底座偏移以提供所述模板、所述触点和所述底座周边之间的电连接的力施加机构,所述力施加机构包括一接触所述模板的压力板、一用于将所述压力板推向所述底座的偏压装置,以及一与所述底座连接的,且支承所述偏压装置的盖,它用于限制盖离开底座的运动,以便所述偏压装置迫使压力板和所述模板与在接触片上的触点作电气啮合。 |
地址 |
美国明尼苏达州 |