损坏之多重堆叠双层膜的选择性移除方法

摘要

在蚀刻处理、灰化处理、或是湿式清洁处理之后的损坏之低介电常数材料之移除方法。在形成特征部之后利用乾式非电浆移除处理移除特征部上之损坏材料薄层。乾式非电浆移除处理包含化学处理损坏材料、接着热处理化学处理过之表面层。可重复化学处理及热处理此二步骤。