雷射照射设备及制造半导体装置之方法

摘要

本发明的目的在于提供一种雷射照射设备，其能够用具有均匀能量密度的雷射光束照射照射物体，而不使光学系统变复杂。;本发明的雷射照射设备，包括：雷射振荡器；光学系统，用于在照射物体的表面之上在单轴方向上重复地扫描自雷射振荡器发出的雷射光束的光点；以及定位控制装置，用于在与单轴方向垂直的方向上相对于雷射光束移动照射物体的位置。