| 摘要 |
[课题]以提供一种能够进行安定之电性连接并且不会对于突起状连接电极之突起顶点而赋予刮擦痕迹的探针导引构件、悬臂型探针卡以及半导体装置之试验方法一事，作为课题。;[解决手段]经由提供一种探针导引构件，以及具备有该探针导引构件的悬臂型探针卡、还有使用有该种探针导引构件之半导体装置之试验方法，而解决上述课题。该探针导引构件，其特征为：系具备有导引孔，其系具备着将在试验时而与突起状连接电极作接触之探针前端部的移动朝向沿着其之滑动方向的直线方向而作导引之直线状的侧部，该导引孔，系为当上述探针导引构件相对于突起状连接电极而被定位在使用位置处时，在与从沿着通过突起状连接电极之突起顶点的滑动方向之中心线而偏移了的顶点周边部相对向的位置处作开口之导引孔。 |
