一种以３Ｄ微影技术制作微探针之方法与微探针之结构

摘要

本发明系揭露一种以雷射直写与微影技术制作3D微探针之方法与微探针之结构。利用此技术可以直接在光阻上形成3D的探针模具，再以电镀方式一次成型微探针结构。微探针的结构侧壁可以是连续曲面，避免应力集中问题；相较于过去2D的制程，本发明所揭露之方法较快速，且在探针之设计上受限较少的限制。