发明名称 机台装置
摘要 系提供一种于正式设置场所容易进行对位之机台装置。将配置有副底座板(21)之架台(25)乘载于台车(22)上而构成副载置台(20a~20d),利用台车(22)使副底座板(21)移动,并将架台(25)固定在具有主底座板(11)之主载置台(10)。藉由设置于副载置台(20a~20d)之调整机构(30),将主底座板(11)与副底座板(21)予以对位。由于在主载置台(10)与副载置台20a~20d设置有主定位构件(16)与副定位构件(241、242),所以能够以对位状态得以复原之方式进行分离。因此在搬运之后,于组装时容易进行对位。
申请公布号 TWI422456 申请公布日期 2014.01.11
申请号 TW097132915 申请日期 2008.08.28
申请人 爱发科股份有限公司 日本 发明人 田中保三;汤山纯平;矢作充;南展史;高桥诚;伊藤慎也
分类号 B23Q1/26;B05C5/00;H01L21/68;G02F1/1333 主分类号 B23Q1/26
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本