发明名称 |
机台装置 |
摘要 |
系提供一种于正式设置场所容易进行对位之机台装置。将配置有副底座板(21)之架台(25)乘载于台车(22)上而构成副载置台(20a~20d),利用台车(22)使副底座板(21)移动,并将架台(25)固定在具有主底座板(11)之主载置台(10)。藉由设置于副载置台(20a~20d)之调整机构(30),将主底座板(11)与副底座板(21)予以对位。由于在主载置台(10)与副载置台20a~20d设置有主定位构件(16)与副定位构件(241、242),所以能够以对位状态得以复原之方式进行分离。因此在搬运之后,于组装时容易进行对位。 |
申请公布号 |
TWI422456 |
申请公布日期 |
2014.01.11 |
申请号 |
TW097132915 |
申请日期 |
2008.08.28 |
申请人 |
爱发科股份有限公司 日本 |
发明人 |
田中保三;汤山纯平;矢作充;南展史;高桥诚;伊藤慎也 |
分类号 |
B23Q1/26;B05C5/00;H01L21/68;G02F1/1333 |
主分类号 |
B23Q1/26 |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |