电浆处理装置

摘要

本发明揭示一种每次对复数个目标物体一起实行电浆制程的垂直电浆处理装置；其包括经组态以将制程气体变成电浆的活化机构。该活化机构包括在对应于制程场的一位置处附于一制程容器，以形成与该制程场气密地连通之一电浆产生区域的一垂直细长电浆产生箱、提供给该电浆产生箱的一ICP电极、以及连接至该电极的一RF电源供应器。