低能耗多晶硅定向凝固装置

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅定向凝固装置，具体涉及一种低能耗多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的水冷拉锭机构，其特征在于石英坩埚和水冷拉锭机构之间设置有石墨托板，石墨托板底部沿外围方向与炉体内底部之间等距设置有可横向移动的活动支架。本实用新型所具有的有益效果是：结构简单，改装方便，通过外加的活动支架实现了在多晶硅熔炼保温过程中不需要与水冷拉锭机构接触支撑，从而避免了这个过程中的循环水冷却，大大减少了能耗，对多晶硅定向凝固提纯的规模化和工业化实施具有重要意义。

主权项

一种低能耗多晶硅定向凝固装置，包括炉体（1），炉体（1）内放置有石英坩埚（2），石英坩埚（2）外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体（3）、保温套筒（4）和感应线圈（5），石英坩埚（2）底部设置有与炉体（1）底部通连的水冷拉锭机构（6），其特征在于石英坩埚（2）和水冷拉锭机构（6）之间设置有石墨托板（7），石墨托板（7）底部沿外围方向与炉体（1）内底部之间等距设置有可横向移动的活动支架（8）。