发明名称 CRYSTALLINE SUBSTRATE, SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME AND MANUFACTURE OF THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11233391(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980029825 申请日期 1998.02.12
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NISHIDA TOSHIO;KOBAYASHI NAOKI
分类号 C30B29/36;C30B29/38;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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