Halbleitersensor zur Erfassung einer physikalischen Größe

摘要

In einem Sensor, in welchem eine bewegliche Elektrode und eine feste Elektrode in derselben Schicht gebildet sind und eine Verschiebung des beweglichen Teils in einer Dickenrichtung eines Trägersubstrats hervorgerufen wird, kann der Verschiebungsbetrag des beweglichen Teils erfasst werden, kann aber eine Richtung der Verschiebung nicht erfasst werden. Unter diesem Umstand enthält der Halbleitersensor zur Erfassung einer physikalischen Größe (1) eine durch die bewegliche Elektrode gebildete erste elektrostatische Kapazität und eine in einer ersten leitenden Schicht, welche sie sich mit der beweglichen Elektrode teilt, gebildete erste feste Elektrode (2) eine durch die bewegliche Elektrode gebildete zweite elektrostatische Kapazität und eine in einer zweiten leitenden Schicht, welche sich in einer Höhe ab einer Substratoberfläche von der beweglichen Elektrode unterscheidet, gebildete zweite feste Elektrode und (3) eine Rechenschaltung, welche die physikalische Größe auf der Grundlage einer bei Anlegen der physikalischen Größe hervorgerufenen Veränderung der ersten und der zweiten elektrostatischen Kapazität berechnet. Bei dieser Konfiguration werden ein elektrisches Signal von der ersten elektrostatischen Kapazität und ein elektrisches Signal von der zweiten elektrostatischen Kapazität in die Rechenschaltung eingegeben.