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发明名称 具压力感测器之微机电结构及其制法
摘要
申请公布号 TWI421955 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW099121403 申请日期 2010.06.30
申请人 矽品精密工业股份有限公司 台中市潭子区大丰路3段123号 发明人 张宏达;廖信一;黄君安;邱世冠;陈建安
分类号 H01L21/60;B81C1/00;H01L23/488;B81B7/02 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 台中市潭子区大丰路3段123号
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