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经营范围
发明名称 微影装置与方法
摘要
申请公布号 TWI421636 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW096142725 申请日期 2007.11.12
申请人 ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰 发明人 凯斯　法兰克　贝斯特;奎辰坤;大卫　克里斯多夫　欧克威尔;彼德　谭　伯格
分类号 G03F7/039;G03F7/16 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰
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