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发明名称 基板洗净装置及具备其之基板处理装置
摘要
申请公布号 TWI421926 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW097126032 申请日期 2008.07.10
申请人 ＳＯＫＵＤＯ股份有限公司 日本 发明人 西山耕二;西村让一;吉井弘至
分类号 H01L21/30;H01L21/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址 日本
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