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经营范围
发明名称
晶圆的检测方法
摘要
申请公布号
TWI421961
申请公布日期
2014.01.01
申请号
TW098106992
申请日期
2009.03.04
申请人
旺宏电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行路16号
发明人
黄琼仪;张文嘉;古淑玲;林庆尧;陈威铭
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行路16号
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