发明名称 晶圆的检测方法
摘要
申请公布号 TWI421961 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW098106992 申请日期 2009.03.04
申请人 旺宏电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 发明人 黄琼仪;张文嘉;古淑玲;林庆尧;陈威铭
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行路16号