| 发明名称 |
适合作为酸产生剂之盐及含该盐之化学放大正型光阻组成物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI421635 |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
| 申请号 |
TW096119073 |
申请日期 |
2007.05.29 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 日本 |
发明人 |
原田由香子;吉田勋;山口训史 |
| 分类号 |
G03F7/039;C07C309/17;C07C303/22;C07C381/12;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
