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发明名称 基板供给装置
摘要
申请公布号 TWI421968 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW101121540 申请日期 2012.06.15
申请人 中外炉工业股份有限公司 日本 发明人 西尾勤;魏志丹;横山雅树
分类号 H01L21/677;H01L21/683 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 日本
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