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发明名称 微机电装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI421983 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW100109733 申请日期 2011.03.22
申请人 汉积科技股份有限公司 发明人 林招庆;陈晓翔;张盛杰
分类号 H01L23/02;H01L23/28 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 新竹市水源街93号5楼之1 TW 5F.-1, NO. 93, SHUEIYUAN ST., EAST DIST., HSINCHU CITY 300, TAIWAN, R. O. C.
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