发明名称 |
用于切割电器件的支承体的方法 |
摘要 |
在用于电器件(30)的支承体(10)中,在所述支承体的第一表面(O10a)上将沟槽(20)引入到所述支承体(10)的材料中。所述支承体(10)被切穿,其方式是将切痕(60)从支承体(10)的与第一表面对置的第二表面(O10b)引入到所述支承体的材料中。切割引导进行为使得切痕(60)在支承体的第一表面(O10a)上通过沟槽(20)走向。通过将沟槽(20)设置在支承体(10)的表面附近的材料层中,可以避免分割部件(1,2)时材料从支承体(10)破裂出来。 |
申请公布号 |
CN103493189A |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
申请号 |
CN201280019178.X |
申请日期 |
2012.04.17 |
申请人 |
ams股份有限公司 |
发明人 |
伯恩哈德·斯特林 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 |
代理人 |
许伟群;李少丹 |
主权项 |
一种用于切割电器件的支承体的方法,包括:‑提供电器件(30)的支承体(10),‑在支承体的第一表面(O10a)上将沟槽(20)引入支承体(10)的材料中,‑通过从与支承体(10)的第一表面对置的第二表面(O10b)将切痕(60)引入到支承体的材料中来切穿支承体(10),其中切割引导进行为使得切痕在支承体的第一表面(O10a)上通过沟槽(20)走向。 |
地址 |
奥地利翁特普雷姆施塔滕 |