| 发明名称 | 用于进行等离子体化学气相沉积的炉子 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于进行等离子体化学气相沉积的炉子，该炉子具有金属壳以防止高频能量向环境泄漏。本发明还提供了一种用于进行等离子体化学气相沉积的方法，在所述等离子体化学气相沉积过程中，使用炉子使玻璃基体维持在800-1300℃的温度，其中通过波导管向涂覆器传送高频能量，由于在所述炉子中存在狭缝，该波导管在所述的炉子内能来回移动，其中所述狭缝由板覆盖，所述板具有金属壳以防止高频能量通过所述炉子中的所述狭缝泄漏。 | ||
| 申请公布号 | CN102383108B | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201110333670.1 | 申请日期 | 2004.12.30 |
| 申请人 | 德拉卡纤维技术有限公司 | 发明人 | M·J·N·斯特拉伦范;R·H·M·德克斯 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C03C17/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 傅永霄 |
| 主权项 | 一种用于进行等离子体化学气相沉积的炉子，该炉子具有金属壳以防止高频能量向环境泄漏，其特征在于，该炉子中具有狭缝，波导管移动经过所述狭缝，所述狭缝用另一金属壳覆盖。2．根据权利要求1的炉子，其特征在于：玻璃基管延伸经过该炉子的位置用金属管环绕。3．根据权利要求1或2的炉子，其特征在于：所述炉子的内部具有一层吸收微波辐射的层。4．一种用于进行等离子体化学气相沉积的方法，其特征在于：在所述等离子体化学气相沉积过程中，使用炉子使玻璃基体维持在800‑1300℃的温度，其中通过波导管向涂覆器传送高频能量，由于在所述炉子中存在狭缝，该波导管在所述的炉子内能来回移动，其中所述狭缝由板覆盖，所述板具有金属壳以防止高频能量通过所述炉子中的所述狭缝泄漏。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||