发明名称 晶粒双面筛盘
摘要 本发明公开了微电子领域的一种可以区分GPP芯片的晶粒筛盘。由筛盘框和筛盘组成,筛盘位于筛盘框上面,其特征在于:晶粒双面筛盘由正面筛盘和反面筛盘构成,正反筛盘通过转轴相连接,反面筛盘可通过转轴旋转180o与正面筛盘相复合,正面筛盘和反面筛盘呈轴对称,筛盘有纵横整齐排列的筛选孔,筛盘的筛选孔直径与所筛晶片的N面相同,筛选孔底部有排气孔,筛盘框为密闭空腔,排气孔与筛盘框密闭空腔相通。本发明具有区分极性成功率高、操作方便和效率高等优点。
申请公布号 CN103489816A 申请公布日期 2014.01.01
申请号 CN201310443910.2 申请日期 2013.09.26
申请人 如皋市易达电子有限责任公司 发明人 黄建山;陈建华;张练佳;梅余峰
分类号 H01L21/67(2006.01)I;B07B1/28(2006.01)I;B07B1/46(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人 孙民兴;王维新
主权项 一种晶粒双面筛盘,由筛盘框和筛盘组成,筛盘位于筛盘框上面,其特征在于:晶粒双面筛盘由正面筛盘和反面筛盘构成,正反筛盘通过转轴相连接,反面筛盘可通过转轴旋转180o与正面筛盘相复合,正面筛盘和反面筛盘呈轴对称,筛盘有纵横整齐排列的筛选孔,筛盘的筛选孔直径与所筛晶片的N面相同,筛选孔底部有排气孔,筛盘框为密闭空腔,排气孔与筛盘框密闭空腔相通。
地址 226561 江苏省南通市如皋市搬经镇群岸村7组