一种基于氧化石墨烯的柔性阻变存储器及其制备方法

摘要

本发明属于半导体器件技术领域，具体为一种基于氧化石墨烯的柔性阻变存储器及其制备方法。本发明包括透明的柔性衬底和衬底上的三层结构器件单元，器件单元的底层为柔性透明电极，最上层电极可以采用金属或者其他电极，中间功能层是氧化石墨烯薄膜。实验证明氧化石墨烯具有良好的阻变特性，可以在室温下进行旋涂形成阻变存储器的功能层，避免了生长其他功能层材料所需要的高温工艺，得到的柔性阻变存储器可以应用于柔性电子器件中。

主权项

一种基于氧化石墨烯的柔性阻变存储器，其特征在于包括：由柔性材料组成的衬底；位于柔性衬底上的下电极；位于衬底、下电极之上的氧化石墨烯阻变功能层；位于上述结构之上的上电极。