| 发明名称 | 晶圆更换装置及晶圆支承用柄 | ||
| 摘要 | 提供一种紧凑且访问性优异的晶圆更换装置。本发明的晶圆更换装置具备第一柄（10）及第二柄（20）、第一升降单元（30）、壳体（40）、水平移动单元（50）、以及第二升降单元（60）。第一柄（10）及第二柄（20）以左右分割形状形成为大致线对称，并对晶圆（100）进行支承。第一升降单元（30）使第二柄（20）升降。壳体（40）内置有第一升降单元（30），并且将第一柄（10）支承为高度位置不变且将第二柄（20）支承为能够升降。水平移动单元（50）使壳体（40）水平移动。第二升降单元（60）使壳体（40）升降。 | ||
| 申请公布号 | CN103493193A | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201280018577.4 | 申请日期 | 2012.04.05 |
| 申请人 | 龙云株式会社 | 发明人 | 山辺浩;小幡仁;山添胜广;西岛芳树;坂田功介;今井慎一;月本浩明;松川启一 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I;B25J15/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 高培培;车文 |
| 主权项 | 一种晶圆更换装置，具有：第一柄及第二柄，以左右分割形状形成为大致线对称，并对晶圆进行支承；第一升降单元，使所述第二柄升降；壳体，内置有所述第一升降单元，并且将所述第一柄支承为高度位置不变且将所述第二柄支承为能够升降；水平移动单元，使所述壳体水平移动；以及第二升降单元，使所述壳体升降。 | ||
| 地址 | 日本冈山县井原市 | ||