发明名称 |
一种恢复已疲劳铁电聚合物膜电极化特性的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种已疲劳铁电聚合物膜极化特性恢复的方法。采用紫外辐照/直流偏压相结合的方法实现已疲劳铁电聚合物膜的极化恢复。其中紫外光中心波长365nm,正的直流偏压施加于紫外光辐照的铁电膜表面。理想情况下,铁电聚合物膜的极化特性可至少恢复至疲劳前初始状态的95%。 |
申请公布号 |
CN103489475A |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
申请号 |
CN201310439943.X |
申请日期 |
2013.09.22 |
申请人 |
复旦大学 |
发明人 |
朱国栋 |
分类号 |
G11C11/22(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I |
主分类号 |
G11C11/22(2006.01)I |
代理机构 |
上海正旦专利代理有限公司 31200 |
代理人 |
张磊 |
主权项 |
一种恢复已疲劳铁电聚合物膜电极化特性的方法,其特征在于具体步骤如下:(1) 为达到最佳的恢复效果,控制已疲劳铁电膜厚小于10μm;(2) 采用真空热蒸发或是磁控溅射方法,在步骤(1)所述的已疲劳铁电膜底部表面沉积一层金属电极,金属电极厚度无严格要求,确保其具有优良导电性即可;(3) 采用真空热蒸发或是磁控溅射方法,在步骤(2)所得的已疲劳铁电膜顶部表面沉积一层金电极,金电极厚度为10‑20nm,以确保其优良导电性及半透明特性;(4) 在已疲劳铁电膜的底部金属电极和顶部金电极之间接直流电压源,已疲劳铁电膜的金属电极接地,金电极接正的直流偏压,为确保达到最优的疲劳恢复效果,直流偏压幅值应大于铁电膜矫顽电压;(5) 直流偏压施加的同时,采用紫外光源辐照铁电膜上的金电极所处的表面,光源中心波长365nm,可调光强最大值为100mW/cm2;直流偏压幅值为1倍到3倍薄膜矫顽电压;根据紫外光强和直流偏压幅值,恢复处理时间为30分钟到3小时;光强越大、偏压越高,处理时间越短;(6) 当达到预定处理时间后,关闭光源,关断直流偏压,测试疲劳恢复处理后的铁电膜极化特性。 |
地址 |
200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |