发明名称 | 冗余金属填充方法及其系统 | ||
摘要 | 本发明提供的冗余金属填充方法包括将版图划分为若干不重叠的窗格;根据基于规则的填充方法粗调所述窗格内的金属密度;根据基于模型的填充方法对所述窗格内的金属密度进行细调修正。本发明还提供一种冗余金属填充系统包括窗格划分模块、第一填充模块、第二填充模块。本发明提供的一种冗余金属填充方法及其系统,将金属密度分级别进行填充,将金属密度范围分级,在不同的级别内选择用不同金属密度的填充模板进行填充,既能够保证冗余填充的精确度又能保证数据计算量不大。 | ||
申请公布号 | CN102542119B | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
申请号 | CN201210008543.9 | 申请日期 | 2012.01.12 |
申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 方晶晶;陈岚;叶甜春 |
分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I |
代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人 | 刘丽君 |
主权项 | 一种冗余金属填充方法,其特征在于,包括:将版图划分为若干不重叠的窗格;根据基于规则的填充方法粗调所述窗格内的金属密度;所述根据基于规则的填充方法粗调窗格内的金属密度包括:当设定的窗格的目标金属密度与当前所述窗格的金属密度的差值大于设定的窗格密度允许波动的范围时,对当前所述窗格从包含不同密度和形状大小的填充模板的模板库中选择金属密度与所述差值之间的差值最小的填充模板,并采用布尔运算填充方法将所述填充模板填充至所述窗格;根据基于模型的填充方法对所述窗格内的金属密度进行细调修正;所述根据基于模型的填充方法对所述窗格内的金属密度进行细调修正包括:当当前所述窗格的金属密度未达到设定的窗格的目标金属密度时,从包含不同密度和形状大小的填充块的图形库中选择金属密度小于当前窗格金属密度且金属密度与当前窗格的金属密度之间的差值最小、周长最小的填充块,并采用布尔运算填充方法对当前窗格进一步填充。 | ||
地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |