| 摘要 |
<p>본 발명은 액상물질 디스펜스 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액상물질 디스펜스 장치는 스테이지에 안착되는 기판의 상측에 헤드가 배치된 액상물질 디스펜스 장치에 있어서, 스테이지로부터 이격되어 기판의 상측을 가로지르며, 적어도 일측의 일영역에 슬릿이 마련되고 헤드를 왕복 가이드 하는 제1가이드 바, 제1가이드 바의 슬릿에 이동가능하게 결합되며, 제1가이드 바가 사선으로 배치될 수 있도록 이동가능하게 마련되는 가이드 포스트를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 헤드의 이동 방향을 수평뿐만 아니라 사선으로도 할 수 있도록 하여 다양한 조건하에 존재하는 대상물에 정확한 위치에 액상을 토출할 수 있는 액상물질 디스펜스 장치가 제공된다.</p> |
