| 摘要 |
1. Микромеханический маятниковый акселерометр, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала с нанесенным на нее слоем кремния, крышку, выполненную из диэлектрического материала и скрепленную с корпусом, инерционную массу, выполненную в виде кремниевой пластины, расположенной с зазором относительно платы и подвешенной в виде маятника на упругих перемычках с единым центральным опорным элементом, которые образуют упругий подвес, с осью подвеса, лежащей в плоскости инерционной массы, емкостной датчик угла, электростатический датчик момента, токоподводы, размещенные внутри платы, электронную схему обработки сигналов, отличающийся тем, что введен датчик температуры, выполненный в виде петлеобразной полоски из кремния, размещенной по периметру платы в зоне контакта крышки с платой и подсоединенной своими концами к соответствующим токоподводам.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что инерционная масса, упругие перемычки, единый центральный опорный элемент и датчик температуры выполнены единым элементом методом анизотропного травления кремния. |
