| 摘要 |
<p>본 발명은 입자측정장치 및 방법에 관한 것으로, 입자측정장치는 분리 가능한 3개의 챔버를 이용하여 기체의 입자를 측정하는 입자측정부, 상기 입자측정부를 고정시키는 테이블, 상기 입자측정부와 상기 테이블을 지지하며 높낮이 조절이 가능한 지지 부재를 포함하되, 상기 입자측정부는 상기 지지 부재에 탈착이 가능하며, 상기 입자측정부는 공정 환경의 압력이 설정된 기준 압력 이상인지 여부, 유입되는 입자가 대전된 입자인지 여부에 따라 상기 3개의 챔버를 선택적으로 결합 또는 분리하여 상기 입자를 측정할 수 있다.</p> |
