| 摘要 |
미러가 구동부로부터 분리되어 있으며 직접적으로 구동되는 구조를 갖는 2축 구동 전자기 스캐너를 개시한다. 본 발명에 따른 전자기 스캐너는, 제 1 축에 대해 회동 가능하게 형성된 외측 구동부; 상기 제 1 축에 직교하는 제 2 축에 대해 회동 가능하도록 상기 외측 구동부의 내측에 현가된 내측 구동부; 및 상기 내측 구동부의 상부에 배치된 것으로, 상기 내측 구동부와 함께 회동하는 스테이지;를 포함하며, 상기 스테이지는 상기 스테이지의 하부 중심으로부터 돌출된 링크부를 통해 상기 내측 구동부와 연결되는 것을 특징으로 한다. |
