一种液晶空间光调制器生成像差的共路干涉测量装置

摘要

本实用新型涉及一种液晶空间光调制器生成像差的共路干涉测量装置。包括激光器、扩束镜、起偏器、分光棱镜、液晶空间光调制器、四分之一波片、检偏器、成像透镜、CCD探测器和计算机。液晶空间光调制器将一束入射线偏振激光分成两束能量相等的正交线偏振测试光与参考光，测试光的偏振方向与液晶空间光调制器的液晶光轴相平行并包含了液晶空间光调制器生成像差信息，参考光不被驱动信号影响；测试光与参考光沿相同的光路经分光棱镜、四分之一波片和检偏器后发生干涉，旋转检偏器得到四帧移相干涉图，利用移相算法准确复原出像差信息。本实用新型采用共路自参考干涉结构，具有稳定性好、成本低、结构简单和测量效率高的特点。

主权项

一种液晶空间光调制器生成像差的共路干涉测量装置，它包括激光器(1)、扩束镜(2)、起偏器(3)、分光棱镜(4)、液晶空间光调制器(5)、四分之一波片(6)、检偏器(7)、成像透镜(8)、CCD探测器(9)和计算机(10)；激光器(1)出射的激光束入射至扩束镜(2)，经扩束镜(2)扩束准直后入射至起偏器(3)，经起偏器(3)偏振后入射至分光棱镜(4)，所述分光棱镜(4)将线偏振光反射后入射至液晶空间光调制器(5)的光输入端；所述液晶空间光调制器(5)将入射线偏振光反射并形成两束正交线偏振光，其中一束偏振方向与所述液晶空间光调制器(5)的液晶光轴方向相垂直的光不被影响并将作为参考光，而另一束偏振方向与所述液晶空间光调制器(5)的液晶光轴方向相平行的光将被液晶空间光调制器(5)调制，调制量与驱动信号有关，将被作为测试光；所述测试光与参考光沿相同的光路经分光棱镜(4)透射后入射至四分之一波片(6)，经四分之一波片(6)透射后均变成圆偏振光，并一起经检偏器(7)后发生干涉，依次旋转检偏器(7)产生0°、45°、90°和135°角，相应得到四帧相位差为90°移相干涉图；产生的移相干涉图经成像透镜(8)成像于CCD探测器(9)并输入计算机(10)进行处理；所述CCD探测器(9)的信号输出端与计算机(10)的信号输入端连接；所述液晶空间光调制器(5)的控制信号输入端与计算机(10)的控制信号输出端连接。