发明名称 | 一种平面型双向触发二极管芯片制造方法 | ||
摘要 | 一种平面型双向触发二极管芯片制造方法。涉及平面型双向触发二极管的制造方法。提供了一种确保漏电小、回弹电压高、品质稳定的同时,进一步减少工艺步骤,提高合格率的平面型双向触发二极管芯片制造方法。以厚度100-300μm的P型晶片为原料,在晶片表面生长氧化层、光刻扩散窗口和将晶片切割为芯片的工序,在所述光刻扩散窗口和将晶片切割为芯片的工序之间包括如下工序:1)扩散窗口下沉;2)磷扩散;3)去除表面反型层;4)高温驱进杂质并生长二氧化硅钝化膜层;5)光刻金属电极窗口;6)镀镍金;本发明的工艺可以采用较厚的硅片,进而可以减少碎片率,同时平面钝化结构保证了切割在划片道内,保证了电压的稳定及优良的高温特性。 | ||
申请公布号 | CN102522333B | 申请公布日期 | 2013.12.25 |
申请号 | CN201210004060.1 | 申请日期 | 2012.01.09 |
申请人 | 薛列龙 | 发明人 | 薛列龙 |
分类号 | H01L21/329(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/329(2006.01)I |
代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人 | 董建林 |
主权项 | 一种平面型双向触发二极管芯片制造方法,以厚度100‑300μm的P型晶片为原料,在晶片表面生长氧化层、光刻扩散窗口和将晶片切割为芯片的工序,其特征在于,在所述光刻扩散窗口和将晶片切割为芯片的工序之间包括如下工序:1)扩散窗口下沉;在扩散窗口中注入混酸,对扩散窗口中的晶片表面进行腐蚀,腐蚀深度以所述晶片表面为基准面,下沉5~40μm;2)磷扩散;将上步骤制得的晶片清洗,再放入扩散炉中进行磷扩散;在晶片本体纵截面上形成N+、P、N+区域,同时在所述晶片本体氧化层表面下形成反型层;3)去除表面反型层;第一、去除上步骤制得晶片表面的氧化层;第二、去除所述晶片本体氧化层表面下形成反型层;由于步骤1)扩散窗口下沉,在前述第二步去除反型层时,所述下沉的扩散窗口会进一步下沉,形成下沉窗口;4)高温驱进杂质并生长二氧化硅钝化膜层;在1000‑1270℃环境下生长一层二氧化硅钝化膜层以保护PN+结;在此温度下,同时驱进磷杂质,推PN+结深至40‑80μm;由于均匀生长二氧化硅钝化膜层,在所述生长有二氧化硅钝化膜层的本体表面仍显现下沉窗口轮廓;5)光刻金属电极窗口;沿所述下沉窗口轮廓,进行金属电极窗口光刻;在晶片表面形成金属电极窗口;6)镀镍金;在金属电极窗口底面镀上镍金层,作为金属电极。 | ||
地址 | 225000 江苏省扬州市广陵区五台山路55号 |