隔板式沉积装置

摘要

一种隔板式沉积装置，是利用于一基座的封闭空间中以一隔板将该封闭空间区分为两个沉积室，以对构成该沉积装置一部分的玻璃基板的一侧表面生成有薄膜结构，而在隔板为另一个玻璃基板时，则可对该玻璃基板的两面同时生成有不同的薄膜结构。

主权项

一种隔板式沉积装置，包含有：至少一边框，具有一镂空部，且该镂空部于该边框的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；至少二玻璃基板，分设于该边框的左、右侧面，且各别封闭该镂空部的左、右开放端面；以及至少一隔板，插设于该边框的镂空部中，且将该镂空部区分为二互不相通的沉积室，该二玻璃基板的一侧表面各别面对一该沉积室。