TEST SOCKET OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND TEST METHOD USING THE SAME
摘要
<p>본 발명의 반도체 소자의 테스트 소켓 및 이를 이용한 반도체 소자의 테스트 방법은 패키지된 반도체 소자의 온도 테스트를 위한 소켓 헤드 내에 펠티어 소자를 내장시킴으로써, 반도체 소자를 교체하여도 예열을 위해 공정시간이 지연되는 것을 방지할 수 있으며, 상기 펠티어 소자로 인가되는 전압의 방향을 변화시킴으로써 고온 및 저온 테스트를 효율적으로 수행할 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.</p>
