| 发明名称 |
微机电系统装置及其之制造方法 |
| 摘要 |
一种MEMS装置，包括：一晶片载体，其具有一个从晶片载体第一表面延伸至第二表面的声音埠；一MEMS模，系被设置于晶片载体上，以便在晶片载体的第一表面覆盖此声音埠；以及一封盖，系黏接于此晶片载体，且封装此MEMS模。 |
| 申请公布号 |
TWI419832 |
申请公布日期 |
2013.12.21 |
| 申请号 |
TW096119122 |
申请日期 |
2007.05.29 |
| 申请人 |
亚库斯提卡股份有限公司 加拿大 |
发明人 |
古德里 杰生Ｐ. GOODELLE, JASON P. US;盖布瑞尔 凯汉Ｊ. GABRIEL, KAIGHAM J. US |
| 分类号 |
B81B7/02;H01L21/306 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
加拿大 |
