光罩缺陷检验器械

摘要

一种光罩缺陷检验器械，包含一张力夹具单元，其具有一支撑器，在该支撑器上坐落一待被检验的金属光罩，一夹钳部件被布置在该支撑器的两侧以固定该金属光罩的相对边缘，及一张力部件以施加一张力至藉由该夹钳部件固定的金属光罩；及一检验单元以检验藉由该张力夹具单元固定的金属光罩。在坐落于支撑器上的该金属光罩及该检验单元之间的一垂直距离小于或是等于在该张力夹具单元及该检验单元之间的一垂直距离。