缺陷检查用图像资料之处理装置及方法、使用其之缺陷检查装置及方法、使用其之板状体之制造方法及记录媒体

摘要

使用信号阈值自板状体之拍摄图像中提取缺陷候补，并自所提取之复数个缺陷候补中搜索宽度方向之位置相同之缺陷候补，求出所搜索出之缺陷候补之搬送方向之位置、与其所相邻之缺陷候补之搬送方向之位置之间的间隔，藉由重复上述处理而求出相对于间隔之产生频率分布。当所注目之间隔之产生频率超过频率阈值时，判别为板状体于搬送方向上具有周期性缺陷。此时，频率阈值设定为所注目之间隔越短则大致越大。