制造单晶矽棒之方法以及用该方法制造之晶圆

摘要

本发明揭示一种单晶矽棒制造方法以及用该方法制造之晶圆。该方法包括在一坩锅内拉晶并且成长一矽棒；以及冷却该矽棒，其中在该矽棒拉晶期间，该矽棒的一拉晶速率设置成产生小于80 nm的空缺；当该矽棒冷却至大约1000℃至大约2000℃之间时，该矽棒的一冷却速度减慢，让小于80 nm的该空缺成长为超过80 nm的空缺。