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<p>검사 장치의 진단 및 측정변수 설정 방법이 개시되어 있다. 검사 장치의 측정변수의 설정을 위하여, 검사 장치 내에 검사 기판을 장착한 후, 검사 기판의 특성에 대응되는 검사 장치의 조명 세기를 자동으로 설정한다. 이후, 검사 기판의 특성에 대응되는 검사 장치의 비저빌러티 기준값을 설정한 후, 설정된 조명 세기 및 비저빌러티 기준값을 저장한다. 이와 같이, 다양한 특성을 갖는 검사 기판들에 대응하여 최적의 조명 세기 및 비저빌러티 기준값 등의 측정변수들을 자동으로 재설정함으로써, 잡파일에 저장되는 검사조건의 설정 시간을 단축하여 사용자의 편의성을 높이고, 잘못된 설정으로 인한 측정 오류를 감소시켜 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.</p> |
