LIGHT SOURCE APPARATUS

摘要

한 쌍의 전극(14, 15)이 대향하여 배치됨과 더불어, 방전 매체가 봉입된 방전 램프(1)와, 한 쌍의 전극(14, 15) 사이를 향해 에너지 빔(8)을 조사하는 에너지 빔 조사 수단을 구비한 광원 장치로서, 상기 에너지 빔 조사 수단은, 전극(14, 15)에 급전하여 방전 램프(1)를 점등시켰을 때에 전극(15)의 선단 부근에 형성되는 휘점(61)을 향해 에너지 빔(8)을 조사하는 것을 특징으로 하는 광원 장치이다.