沉积设备和利用其制造有机发光二极管显示器的方法

摘要

本发明提供了一种沉积设备和利用所述沉积设备制造有机发光二极管显示器的方法。所述沉积设备包括：沉积源，包括沿着第一方向线性布置并且排放沉积材料的喷嘴；一对角度控制构件，设置在沉积源的两侧并且控制沉积材料的排放方向角。每个角度控制构件包括平行于第一方向的旋转轴以及围绕旋转轴安装并且围绕旋转轴彼此分开预定间隔的多个屏蔽板。尽管沉积角根据工艺时间的增加而改变，但是补偿沉积角以形成均匀的薄膜。另外，可以通过有机发光二极管(OLED)显示器的每个像素均匀地沉积有机薄膜，从而增加每个像素的亮度均匀性。

主权项

一种沉积设备，所述沉积设备包括：沉积源，包括沿着第一方向线性布置并且排放沉积材料的喷嘴；一对角度控制构件，设置在沉积源的两侧并且控制沉积材料的排放方向角，每个角度控制构件包括平行于第一方向的旋转轴以及围绕旋转轴安装并且围绕旋转轴彼此分开预定间隔的多个屏蔽板。