带水冷热屏的单晶生长炉

摘要

本发明涉及单晶硅生产设备领域，旨在提供带水冷热屏的单晶生长炉。该带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏，水冷热屏包括连接固定的呈倒锥形的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒，且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒的上端还连接固定有连接体，水道的进口、出口分别通过连接体与进水管路、出水管路相连接。本发明能够更好地创造一个对结晶有利的温度空间，从而加快晶棒的结晶速度，缩短晶棒的生长时间，提高拉晶效率。

主权项

带水冷热屏的单晶生长炉，包括石英坩埚，其特征在于，所述带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏，水冷热屏设置在石英坩埚的上方，水冷热屏包括连接固定的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒都呈倒锥形，且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道，水冷热屏内筒和水冷热屏外筒的上端还连接固定有连接体，水道的进口、出口分别通过连接体与进水管路、出水管路相连接。