纳米粒子射流微量润滑磨削雾滴粒径的测量方法与装置

摘要

本发明涉及一种纳米粒子射流微量润滑磨削雾滴粒径的测量方法与装置，它可提高雾滴谱的均匀性、沉积效率和液体有效利用率，有效控制雾滴运动规律，降低环境污染。它包括可调式纳米流体供给回路和可调式气体供给回路，两回路均与喷嘴连接，气体与磨削液在喷嘴内混合完成后并一同喷出磨削液雾滴喷在工件上的磨削区；采用两个共聚焦显微镜对磨削液雾滴进行扫描，一个共聚焦显微镜位于与工件表面垂直的方向并进行xy向运动，另一个位于与工件表面平行的方向并进行xz向移动，分别采集落在工件表面上同一单颗液滴的侧面视图和俯视图，并将扫描后图像送入计算机处理，得到单颗液滴的分布规律并模拟出雾滴的轮廓形态，从而确定出单颗磨削液雾滴的粒径大小。

主权项

一种纳米粒子射流微量润滑磨削雾滴粒径测量装置，其特征是，它包括可调式纳米流体供给回路和可调式气体供给回路，所述两回路均与喷嘴连接，气体与磨削液在喷嘴内混合完成后并一同喷出磨削液雾滴；磨削液雾滴喷在工件上的磨削区；采用两个基于多普勒效应的共聚焦显微镜对磨削液雾滴进行多方位的扫描，一个共聚焦显微镜位于与工件表面垂直的方向并进行xy向运动，另一个位于与工件表面平行的方向并进行xz向移动，所述两聚焦显微镜分别采集落在工件表面上同一单颗液滴的侧面视图和俯视图，并将扫描后图像送入计算机处理，得到单颗液滴的分布规律并模拟出雾滴的轮廓形态，从而确定出单颗磨削液雾滴的粒径大小。