钛合金表面制备非晶-纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺

摘要

钛合金表面制备非晶-纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺，主要制备工艺步骤为：首先进行双阴极等离子溅射沉积，工艺参数如下：靶材电压500~1000V，工件电压300~450V，靶材与工件间距10~30mm，工作气压20~45Pa，沉积温度450~850℃；然后进行离子氮化，工艺参数如下:工件电压650~850V，氮化温度450~600℃，工作气压20~45Pa，氮分压0.1-1Pa；离子氮化时间1-2小时；溅射的靶材的种类：Mo0.1-0.3(Si0.90,Al0.10)0.9-0.7；工件材料的种类：钛合金。该复合非晶-纳米晶硅化物涂层具有高韧性、高硬度、优异的耐蚀性、耐磨和抗氧化性能。

主权项

钛合金表面制备非晶‑纳米晶二硅化钼基耐磨耐蚀涂层的复合表面处理工艺，其特征在于主要制备工艺步骤为：a. 首先进行双阴极等离子溅射沉积，工艺参数如下：靶材电压500~1000 V，工件电压300~450 V，靶材与工件间距10~30 mm，工作气压20~45Pa，沉积温度450~850℃；b. 然后进行离子氮化，工艺参数如下: 工件电压650~850V，氮化温度450~600℃，工作气压20~45Pa，氮分压0.1‑1 Pa；离子氮化时间1‑2小时；c.溅射的靶材的种类：Mo0.1‑0.3(Si0.90,Al0.10)0.9‑0.7；d. 工件材料的种类：钛合金。