半导体制造系统

摘要

本实用新型提供了一种半导体制造系统，所述半导体制造系统包括：控制装置及半导体设备，所述控制装置与所述半导体设备相互连接，使得所述控制装置与所述半导体设备之间能够通信；所述控制装置包括显示设备，所述显示设备上显示图形化图标；所述控制装置用于在所述显示设备上的图形化图标被触发时，控制所述半导体设备的工作状态和/或获取所述半导体设备的工作状态。相对于现有技术中的通过以文字形式呈现的任务条进行选择，本实用新型提供的显示设备更加直观，从而便于操作，进而能对半导体设备准确控制。

主权项

一种半导体制造系统，其特征在于，包括：控制装置及半导体设备，所述控制装置与所述半导体设备相互连接，使得所述控制装置与所述半导体设备之间能够通信；所述控制装置包括显示设备，所述显示设备上显示图形化图标；所述控制装置用于在所述显示设备上的图形化图标被触发时，控制所述半导体设备的工作状态和/或获取所述半导体设备的工作状态。